流量控制器 美國omega流量控制器
氣體質量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
FMA-2600A 系列
氣體質量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
FMA-2600A 系列:氣體質量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
20多種氣體校準，包括氦氣、氧氣、氖氣、一氧化二氮、氮氣、大氣、氬氣、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氫氣、丙烷、丁烷、異丁烷、乙烯、乙炔、氪氣、氙氣、六氟化硫
同時顯示壓力、溫度、體積以及質量流量
簡單易用的按鈕界面
NIST 可溯源性標準
滿量程范圍：0.5 SCCM ~ 1500 SLM
常規響應時間：50 ~ 100 毫秒
常規量程比：100:1
位置不敏感
±0.8%讀數精度
標配RS232
FMA-2600A系列質量與體積流量控制器在層流場中使用差壓原則來確定和控制質量流速。流量計中的層流元件(LFE)迫使氣體進入層流。

泊肅葉方程規定， 在這一區域體積流速與壓力下降呈線性關系。使用壓差傳感器衡量LFE固定距離中的壓力下降情況。

同時結合氣體的粘度準確判定體積流速。引入單獨的溫度和壓力傳感器，并根據一系列標準條件糾正氣體流速。

這種標準流速俗稱質量流速，并使用每分鐘標準立方英尺(SCFM)或每分鐘標準升(SLM)等單位表示。
該控制器采用連接到流體的真正比例閥，通過一體化PID回路控制器控制流體。

標準設備包括0 ~ 5 V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232通訊?？赏ㄟ^前面板鍵盤或RS232通訊調整氣體選擇功能和設定值。

體積 流量、質量流量、壓力以及溫度均可以通過RS232連接查看或記錄。

同時，在距離為46 m (150')的同一串口連接上，zui多可與26臺設備進行多點通訊。
規格:
精度: ±（讀數的0.8% + 滿量程的0.2%）
重復性: 滿量程的±0.2%
量程比： 100:1
控制響應時間: 100 ms
輸入控制信號: 0 ~ 5 Vdc, RS232
輸出信號: 0 ~ 5 Vdc, RS232
可選輸入/輸出: 4 ~ 20 mA, 0 ~ 10 Vdc
工作溫度: 10 ~ 50°C (14 ~ 50.00°C)
零點偏移: 滿量程的0.02%/°C
量程偏移: 滿量程的0.02%/°C
濕度量程: 0 ~ 100% RH，無冷凝
附加流速: 滿量程的2.4%
接液材質：303和302不銹鋼、氟橡膠、硅酮RTV（橡膠）、玻璃強化型尼龍、鋁、銅、410不銹鋼、硅酮、玻璃；>250 SLM：416不銹鋼和鎳替換銅
zui大壓力
質量流量控制器: 145 psig
使用體積模式: 使用體積模式：近大氣，建議zui大15 psig。
體積流量計和控制器不保證超出流量計額定流量范圍的質量流速的準確性。這些值僅適用于近大氣壓力條件。建議zui大工作壓力為15 psig
額定zui小壓差: 5 SLM 及以下: 5 psid; 10 ~ 250 SLM: 15 psid; 500 SLM: 5 psid; 1500 SLM: 10 psid
電源電流: 20 SLM及以下0.250 A；50 SLM及以上0.75 A（常規）
電源電壓: 20 SLM及更小的設備12 ~ 30 Vdc；50 SLM及更大的設備24 ~ 30 Vdc
電氣連接: 8針圓形迷你DIN

產品型號/產品描述
質量流量控制器
FMA-2601A 0.5 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2601A-I 0.5 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2601A-I2 0.5 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2601A-P 0.5 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2601A-V2 0.5 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個0 ~ 5V輸出
FMA-2601A-VOL 0.5 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標準輸出
FMA-2602A 1 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2602A-I 1 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個4?? ~ 20 mA輸出
FMA-2602A-I2 1 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2602A-P 1 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2602A-V2 1 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個 0 ~ 5 V的輸出
FMA-2602A-VOL 1 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標準輸出
FMA-2614A 2 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2614A-I 2 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個4?? ~ 20 mA輸出
FMA-2614A-I2 2 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2614A-P 2 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2614A-V2 2 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個0 ~ 5 V的輸出
FMA-2614A-VOL 2 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標準輸出
FMA-2615A 5 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2615A-I 5 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個4?? ~ 20 mA輸出
FMA-2615A-I2 5 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2615A-P 5 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2615A-V2 5 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2615A-VOL 5 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標準輸出
FMA-2603A 10 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2603A-I 10 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2603A-I2 10 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2603A-P 10 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2603A-V2 10 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個0 ~ 5V輸出
FMA-2603A-VOL 10 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標準輸出
FMA-2616A 20 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2616A-I 20 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2616A-I2 20 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2616A-P 20 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2616A-V2 20 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2616A-VOL 20 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標準輸出
FMA-2604A 50 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2604A-I 50 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2604A-I2 50 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2604A-P 50 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2604A-V2 50 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個0 ~ 5V輸出
FMA-2604A-VOL 50 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速作為標準輸出
FMA-2617A 100 SCCM，1/8 FNPT連接
FMA-2617A-I 100 SCCM，1/8 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2617A-I2 100 SCCM，1/8 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2617A-P 100 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2617A-V2 100 SCCM的，1/8 FNPT，2個 0 ~ 5 V的輸出
FMA-2617A-VOL 100 SCCM，1/8 FNPT，體積流速為標準輸出
FMA-2618A 200 SCCM，1/8 FNPT連接
FMA-2618A-I 200 SCCM，1/8 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2618A-I2 200 SCCM，1/8 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2618A-P 200 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2618A-V2 200 SCCM，1/8 FNPT，2個 0 ~ 5 V的輸出
FMA-2618A-VOL 200 SCCM，1/8 FNPT，體積流速為標準輸出
FMA-2619A 500 SCCM，1/8 FNPT連接
FMA-2619A-I 500 SCCM，1/8 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2619A-I2 500 SCCM，1/8 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2619A-P 500 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2619A-V2 500 SCCM，1/8 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2619A-VOL 500 SCCM，1/8 FNPT，體積流速為標準輸出
FMA-2620A 1 SLM，1/8 FNPT
FMA-2620A-I 1 SLM，1/8 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2620A-I2 1 SLM，1/8 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2620A-P 1 SLM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2620A-V2 1 SLM，1/8 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2620A-VOL 1 SLM，1/8 FNPT，體積流速為標準輸出
FMA-2605A 2 SLM，1/8 FNPT
FMA-2605A-I 2 SLM，1/8 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2605A-I2 2 SLM，1/8 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2605A-P 2 SLM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2605A-V2 2 SLM，1/8 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2605A-VOL 2 SLM，1/8 FNPT，體積流速為標準輸出
FMA-2606A 5 SLM，1/8 FNPT
FMA-2606A-I 5 SLM，1/8 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2606A-I2 5 SLM，1/8 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2606A-P 5 SLM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2606A-VOL 5 SLM，1/8 FNPT，體積流速為標準輸出
FMA-2607A 10 SLM，1/8 FNPT
FMA-2607A-I 10 SLM，1/8 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2607A-I2 10 SLM，1/8 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2607A-P 10 SLM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2607A-V2 10 SLM，1/8 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2607A-VOL 10 SLM，1/8 FNPT，體積流速作為標準輸出
FMA-2608A 20 SLM，1/8 FNPT
FMA-2608A-I 20 SLM，1/8 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2608A-I2 20 SLM，1/8 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2608A-P 20 SLM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2608A-V2 20 SLM，1/8 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2608A-VOL 20 SLM，1/8 FNPT，體積流速作為標準輸出
FMA-2609A 50 SLM，1/4 FNPT
FMA-2609A-I 50 SLM，1/4 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2609A-I2 50 SLM，1/4 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2609A-V2 50 SLM，1/4 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2609A-VOL 50 SLM，1/4 FNPT，體積流速作為標準輸出
FMA-2610A 100 SLM，1/4 FNPT
FMA-2610A-I 100 SLM，1/4 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2610A-I2 100 SLM，1/4 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2610A-V2 100 SLM，1/4 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2610A-VOL 100 SLM，1/4 FNPT，體積流速作為標準輸出
FMA-2611A 250 SLM，1/2 FNPT
FMA-2611A-I 250 SLM，1/2 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2611A-I2 250 SLM，1/2 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2611A-V2 250 SLM，1/2 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2611A-VOL 250 SLM，1/2 FNPT，體積流速作為標準輸出
FMA-2612A 500 SLM，3/4 FNPT
FMA-2612A-I 500 SLM，3/4 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2612A-I2 500 SLM，3/4 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2612A-V2 500 SLM，3/4 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2612A-VOL 500 SLM，3/4 FNPT，體積流速作為標準輸出
FMA-2613A 1000 SLM，3/4 FNPT
FMA-2613A-I 1000 SLM，3/4 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2613A-I2 1000 SLM，3/4 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2613A-V2 1000 SLM，3/4 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2613A-VOL 1000 SLM，3/4 FNPT，體積流速作為標準輸出
FMA-2621A 1500 SLM，3/4 FNPT
FMA-2621A-I 1500 SLM，3/4 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2621A-I2 1500 SLM，3/4 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2621A-V2 1500 SLM，3/4 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2621A-VOL 1500 SLM，3/4 FNPT，體積流速作為標準輸出
FMA-2622A 2000 SLM，3/4 FNPT
FMA-2622A-I 2000 SLM，3/4 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2622A-I2 2000 SLM，3/4 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2622A-V2 2000 SLM，3/4 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2622A-VOL 2000 SLM，3/4 FNPT，體積流速作為標準輸出
FMA-2623A 3000 SLM，1 1/4 FNPT
FMA-2623A-I 3000 SLM， 1 1/4 FNPT，一個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2623A-I2 3000 SLM，1 1/4 FNPT，兩個4 ~ 20 mA輸出
FMA-2623A-V2 3000 SLM，1 1/4 FNPT，兩個0 ~ 5 V輸出
FMA-2623A-VOL 3000 SLM，1 1/4 FNPT，體積流速作為標準輸出
體積流量控制器
FVL-2601A 0.5 SCCM，10-32 螺紋連接
FVL-2602A 1 SCCM，10-32 螺紋連接
FVL-2614A 2 SCCM，10-32 螺紋連接
FVL-2615A 5 SCCM，10-32 螺紋連接
FVL-2603A 10 SCCM，10-32 螺紋連接
FVL-2604A 50 SCCM，10-32 螺紋連接
配件
FMA1600-C1 單端1.83米 (6英尺) 8針迷你DIN公連接器備用電纜
FMA1600-C1-25 FT 單端7.62米 (25英尺) 8針迷你DIN公連接器電纜
FMA1600-C2 雙端1.83米 (6英尺) 8針迷你DIN公連接器電纜
FMA1600-C2-25 FT 雙端7.62米 (25英尺) 8針迷你DIN公連接器電纜
FMA1600-C3 1.83米 (6英尺) 8針迷你公DIN至DB9 內螺紋適配器電纜
FMA1600-CRA 單端7.83米 (6英尺) 8針直角迷你DIN公連接器電纜
FMA1600-MDB 多點箱體
FMA1600-PSU 通用交流100 ~ 240 V輸入 ~ 直流24 V輸出電源適配器
FMA1600-E2 220VAC to 24VDC Power Supply for 50 LPM or greater
管接頭適配器用于10-32螺紋
FTNY-K210BN 尼龍材質，管內徑1/16英寸至10-32 UNF公螺紋頭
FTPP-K210NP 聚丙烯材質，管內徑1/16英寸至10-32UNF公螺紋頭
FTNY-K230BN 尼龍材質，管內徑1/8英寸至10-32UNF公螺紋頭
FTPP-K230NP 聚丙烯材質，管內徑1/8英寸至10-32UNF公螺紋頭
 

注釋: 配備24 V直流通用電源、1.8m (6’)電纜、8針迷你DIN公連接器、操作手冊及NIST證書 標準設備針對空氣進行了校準，校準壓力0 ~ 1 LPM為5 psig、2 ~ 10 LPM為15 psig、20 ~ 100 LPM為30 psig、200 LPM及以上為50 psig。
如需定制校準，請將“-(*)"添加到型號中，無需支付額外費用。*定制校準的氣體和入口/出口或背壓。
校準僅在環境溫度為21C (70oF)的環境下進行。
如欲將標準RS232通訊接口替換為RS485，請將后綴“-RS485"添加到型號中，需支付額外費用。
標準輸入為0 ~ 5V，如需可選4 ~ 20 mA輸入，請將后綴“-IN"添加到型號中，無需支付額外費用。
標準輸出標定為質量流速。要將體積流速設定為標準輸出，請將后綴“-VOL"添加至到型號中，無需支付額外費用。在“-VOL"控制器中，控制回路設置為以體積為標準。
標準輸出為0 ~ 5V，如需可選4 ~ 20 mA輸出，請將后綴“-I"添加到型號中，需支付額外費用。
如需兩個4 ~ 20 mA輸出，請將后綴“-I2"添加到型號中，需支付額外費用。
如需兩個0 ~ 5 V輸出電壓，請將后綴“V2"添加到型號中，需支付額外費用。
** 可選輔助輸出與主輸出使用相同的標度。如需備用輸出標度，對于溫度請將后綴“-T"添加到型號中，或對于壓力將后綴“-P"添加到型號中，無需支付額外費用。
如需一體式正壓切斷閥，請將后綴“-P"添加到型號中，需支付額外費用。附帶正壓切斷閥的型號提供?"焊接VCR外螺紋接頭。 20 SLM以下的型號均提供。
如需以SCFH標定的產品，請將后綴“-SCFH"添加至型號中。請以SCFH為單位期望量程，無需支付額外費用。
如需累加器選項，請將后綴“-TOT"添加到型號中，需支付額外費用。請分辨率
這是一款6位計數器。示例：使用1/100升分辨率對升累計計數時，zui大計數為9999.99。使用1升分辨率對升累計計數時，zui大計數為999999。

 FMA-2620A流量計 美國omega

FMA1003R-V1-HT流量計 美國omega